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當前位置：首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC160PE程控精密勻膠機
簡要描述：HC160PE 程控精密勻膠機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性
產品型號：HC160PE廠商性質：生產廠家 更新時間：2022-01-04訪 問 量：2775 產品分類
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可編程精密勻膠機
型號：HC160PE
HC160PE程控精密勻膠機，采用高級PLC 全自動程序控制，轉速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
特點：
l 設計緊湊，可放置在手套箱內；
l 4.3英寸彩色觸屏控制，人機界面；
l 不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；
l 經CNC一體加工成型的HDPE內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；
l 內腔壁采用*的凹面設計，有效防濺；
l 高級PLC全自動程序控制，可編程；
l 帶真空度安全互鎖檢測功能；
l 帶蓋子安全互鎖檢測功能；
l 帶排廢接口；
l 配置一個自動點膠接口，可升級自動點膠系統(tǒng)；
l 可設置用戶密碼保護功能；
l 配置可調基座，方便調節(jié)水平；
技術參數：
l 適用晶元尺寸范圍：?10~160mm；
l 旋涂速度：100~12000rpm；
l 轉速分辨率：1rpm；
l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；
l 旋涂時間：3000s；
l 旋涂時間精度：0.1s；
l 內腔直徑220mm，內腔壁采用*的凹面防濺設計；
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；
l 電源輸入：AC200-230V；
設備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm
HC160PE程控精密勻膠機
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