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簡要描述:HC160PE 程控精密勻膠機是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性
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可編程精密勻膠機
型號:HC160PE
HC160PE程控精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
特點:
l 設計緊湊,可放置在手套箱內;
l 4.3英寸彩色觸屏控制,人機界面;
l 不銹鋼外殼,美觀耐腐蝕;
l 經CNC一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;
l 內腔壁采用*的凹面設計,有效防濺;
l 高級PLC全自動程序控制,可編程;
l 帶真空度安全互鎖檢測功能;
l 帶蓋子安全互鎖檢測功能;
l 帶排廢接口;
l 配置一個自動點膠接口,可升級自動點膠系統(tǒng);
l 可設置用戶密碼保護功能;
l 配置可調基座,方便調節(jié)水平;
技術參數:
l 適用晶元尺寸范圍:?10~160mm;
l 旋涂速度:100~12000rpm;
l 轉速分辨率:1rpm;
l 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
l 旋涂時間:3000s;
l 旋涂時間精度:0.1s;
l 內腔直徑220mm,內腔壁采用*的凹面防濺設計;
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
l 電源輸入:AC200-230V;
設備外形尺寸:長X寬X高:310X254X250mm
HC160PE程控精密勻膠機
HC160PE程控精密勻膠機
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